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德派精密 DLC连续线
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中国
主营产品:
镀膜设备+配套自动化设备
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商品详情

用途

适用于开发和批量生产光学DLC薄膜(类金刚石薄膜)。 DLC薄膜(Diamond-Like Carbon)是一类具有类似金刚石特性的非晶碳薄膜材料,其碳原子通过sp2键(石墨结构)和sp3键(金刚石结构)杂化形成无序网络结构,兼具高硬度、低摩擦系数、化学稳定性、高透光性、良好生物相容性等优异性能,广泛应用于红外窗口、抗反射涂层、激光元器件、生物医学、汽车工业、*等领域。

 

特点

设备配置冷阱,快速提高连续线抽气速率,适合金属、玻璃、塑胶件等沉积类金刚石薄膜。

配备两对中频磁控平面靶,有效提高膜层质量和沉积效率。 

设备配有ICP离子源,保证镀膜前基材活化、清洁,提高膜基结合力。 

提供4路以上气源,调控DLC薄膜掺杂工艺,降低薄膜内应力,调节DLC的光学参数。

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