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开物智能 Kiron(枭龙)系列干式真空泵
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中国
主营产品:
真空泵、真空阀
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商品详情

Kiron(枭龙)系列干式真空泵主泵采用多级罗茨结构,功率低、抽速大、排粉能力强、能够输送易燃、易爆、易凝结等工艺气体、抽速平稳可用于大排气量工艺可靠性高、运转维护费用低。适用于光伏、半导体等行业中PECVD、MOCVDSIC-CVD、Etch等清洁、中等和苛刻工艺制成

产品特色:

1:采用永磁同步电机,拥有更低的能耗:先进的转子结构,能够增强泵的排粉尘能力

2:对被抽气体中含有的粉尘和水蒸气不敏感

3:结构紧凑,整机体积小,系统集成度高

 4:保护功能齐全,自适应能力强

 5:运转时的振动小、噪声低

 6:先进的迷宫密封系统结合氮气吹扫能够有效保证泵腔内无油提高工艺腔的真空清洁度

7:可通过I/O接口和RS485接口(Moudbus协议)实现远程控制和监控功能

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