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SiC碳化硅激光退火设备

产地：中国

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简介（Description）：

碳化硅(SiC)材料的宽禁带、高热导率、高饱和电子漂移速度、高击穿电场等特性决定了其在高温、大功率领域的巨大潜力。为了使SiC材料的性能能够得到充分发挥，目前需解决的一个关键问题是欧姆接触的制备。

传统制备SiC晶圆欧姆接触的方法是在衬底表面沉积金属电极层后进行高温热退火。但是，传统的高温热退火工艺在减薄衬底中存在着很多不足，如:退火范围不可控、衬底与沉积金属间容易发生侵蚀、影响界面形貌和物质分布均匀性等问题。因此，行业中需要一种退火局域化及退火深度可控的新型退火方案。

量伙的SiC晶圆激光退火设备，通过利用高均一性激光整形系统，对重掺杂SiC晶圆表面沉积的过渡金属进行退火，制备良好均一的欧姆接触，是制备高性能SiC晶圆工艺制程的重要一环。激光退火技术局域化和深度可控的优秀特性，适用于SiC减薄晶圆的退火处理，有效地克服传统高温热退火工艺的痛难点。同时，其微/纳秒量级的退火升温速度，极高地保证了SiC晶圆金属-半导体界面C,Si,Ni三种元素的均匀分布，获得比传统高温热退火工艺更加稳定、均匀的欧姆接触。

量伙半导体设备（上海）有限公司成立于2018年，位于中国经济最发达的长一角区域上海市浦东新区。公司致力于半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的研发、设计、制造、销售及技术服务，立志为中国制造行业提供更为先进的国产化设备！经过多年努力，公司目前已陆续向市场推出6、8、12英寸快速退火炉RTP设备，成为国内唯一能提供全尺寸系列的RTP热处理设备专业供应商。
   量伙半导体设备（上海）有限公司目前已拥有各种知识产权与软件著作、外观、结构等几十项**，取得了ISO9001质量管理体系**、ISO14001环境管理体系**、ISO45001职业健康安全管理体系**、AAA级质量服务诚信单位、AAA级信用等级**、AAA级资信等级证书、AAA重合同守信用单位、AAA信用报告、AAA诚信供应商、AAA诚信经营示范单位、诚信企业家等证书……
   公司与北京理工大学成立了联合实验室，与安徽大学、合肥市智能机器人研究院达成深度合作。在合肥市设有研发、制造基地，在北京、西安等地设有技术服务中心。
   公司管理层从事半导体设备行业二十余年，经手过数百台设备，熟知主流产品的优缺点，积累了丰富的快速热处理设备技术和工艺经验。自2018年成立量伙半导体以来，迅速的向市场推出了6寸、8寸、12寸快速退火炉设备。公司自主研发的快速退火炉RTP设备具有国内领先的技术水平，独特的控温设计理念配合复杂的软件算法，满足了更为苛刻条件下的工艺要求。已在众多IDM、Foundry、研究所、高校、实验室等半导体生产研究单位得到广泛应用，亦获得欧洲、亚洲的客户青睐。

量伙半导体设备（上海）有限公司成立于2018年，位于中国经济*发达的长三角区域-----上海市浦东新区。公司致力于半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的研发、设计、制造、销售及技术服务，立志为中国制造行业提供更为先进的国产化设备！

量伙半导体设备（上海）有限公司目前已拥有各种知识产权与软件著作、外观、结构等几十项专利，通过了上海高新技术企业认定，专精特新企业认证，取得了ISO9001质量管理体系认证、ISO14001环境管理体系认证、ISO45001职业健康安全管理体系认证、AAA级质量服务诚信单位、AAA级信用等级认证、AAA级资信等级证书、AAA重合同守信用单位、AAA信用报告、AAA诚信供应商、AAA诚信经营示范单位、诚信企业家等证书……

公司已获得合肥市政府专项基金投资，与北京理工大学成立了联合实验室，与安徽大学、合肥市智能机器人研究院达成深度合作。在合肥市设有研发、制造基地，在北京、西安等地设有技术服务中心。

公司制造中心占地面积4500平方米，拥有数十台高端辅助测试设备。工厂的工艺水平、装备能力、核心制造能力、核心试验检测能力处于国内同行业先进水平。工厂采用行业先进的生产制造管理流程，为企业提高了质量保障能力、生产效率和竞争力，并降低了成本。公司的生产管理严格按照现有的国际标准质量体系IS09001执行。

公司现有员工52人，拥有经验丰富的产品研发、设计及技工队伍。其中从事产品设计研发、自动化、结构，控制软件等各专业科研人员42人，重点本科理工专业21人，研究生15人，博士5人，并设有13人的专业售后服务队伍，确保了产品现场服务和远程支持的需要。

公司管理层从事半导体设备行业二十余年，经手过数百台设备，熟知主流产品的优缺点，积累了丰富的半导体设备技术和工艺经验。自成立量伙半导体以来，迅速推出了自主研发的快速退火炉RTP，激光退火设备，晶圆临时键合设备，晶圆解键合设备。已在众多IDM、Foundry、研究所、高校、实验室等半导体生产研究单位得到广泛应用，亦获得欧洲、亚洲的客户青睐。