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微光显微镜

LUXET InGaAs50 配备了全自动运动系统、深度制冷型InGaAs相机、电动物镜转盘、不同倍率的显微镜头以及锁相测量模式，可以适用于半导体器件的失效点定位。

应用场景

1.栅氧漏电;

2.ESD/EOS失效;

3.P-N结漏电;

深度制冷InGaAs相机

波长范围覆盖 900-1700 nm

不同倍率的显微镜头

2x 5x 20x 50x 100x

运动控制系统

电动XYZ

电动物镜转盘

五孔电动转盘

尺寸参数

规格型号:InGaAs 50

1200(W)x1085(D)x2154(H) mm

重量：Approx.500 kg

工作条件

电源：230 V ± 10% / 50Hz

真空：> 50 kPa

要求干净、干燥、无油

凌光红外成立于2021年12月，专注于高端实验室检测仪器的国产化，解决高精设备迫在眉睫的卡脖子问题。目前公司主要设计生产半导体电性失效分析设备。公司团队来自中科大，复旦，交大，浙大等国内知名高校，在各自行业内均有十数年的丰富经验和极强的研发能力。

2021.12 凌光红外成立

2022.12 交付首台制冷型锁相红外显微镜Thermo 100

2023.03 交付首台InGaAs微光显微镜InGaAs 100

2023.05 交付首台非制冷锁相红外显微镜Thermo 50

2025.07  交付客户台数45+

凌光红外成立于2021年12月，专注于高端实验室检测仪器的国产化，解决高精设备迫在眉睫的卡脖子问题。目前公司主要设计生产半导体电性失效分析设备。公司团队来自中科大，复旦，交大，浙大等国内知名高校，在各自行业内均有十数年的丰富经验和极强的研发能力。