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激光诱导电阻变化显微镜

LUXET LaserSight 100 配备了全自动运动系统、激光探测器、电动物镜转盘、不同倍率的显微镜头、激光诱导电阻变化功能(Infrared-Optical Beam Induced Resistance Change)、Lock-inOBIRCH，可以适用于芯片级的失效点定位。

适用范围

1.金属线/Poly/Well短路;

2.闸极氧化层漏电;

3.金属导通孔/接触孔阻值异常;

4.多材质/厚度芯片失效

激光探测器

波长：1300nm

不同倍率的显微镜头

5x 20x 50x 100x

Lock-in

低频/高频Lock-in OBIRCH

运动控制系统

高精度XYZT

尺寸参数

规格型号:LaserSight 100

1350(W)x1350(D)x2175(H)mm

重量：Approx.1000kg

工作条件

电源：230V ± 10% / 50 Hz

真空：> 50 kPa，功率2300W

要求干净、干燥、无油

凌光红外成立于2021年12月，专注于高端实验室检测仪器的国产化，解决高精设备迫在眉睫的卡脖子问题。目前公司主要设计生产半导体电性失效分析设备。公司团队来自中科大，复旦，交大，浙大等国内知名高校，在各自行业内均有十数年的丰富经验和极强的研发能力。

2021.12 凌光红外成立

2022.12 交付首台制冷型锁相红外显微镜Thermo 100

2023.03 交付首台InGaAs微光显微镜InGaAs 100

2023.05 交付首台非制冷锁相红外显微镜Thermo 50

2025.07  交付客户台数45+

凌光红外成立于2021年12月，专注于高端实验室检测仪器的国产化，解决高精设备迫在眉睫的卡脖子问题。目前公司主要设计生产半导体电性失效分析设备。公司团队来自中科大，复旦，交大，浙大等国内知名高校，在各自行业内均有十数年的丰富经验和极强的研发能力。