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中船鹏力 桌面式AOI自动光学检测设备
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中国
主营产品:
智能制造
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商品详情

该产品的自动光学检测是利用光学方式取得芯片成品的表面状态,以影像处理来检出异物或图案异常等瑕疵。采用高精度运动控制、高精密光学成像、智能缺陷检测等技术,实现了不同尺寸芯片的高精度成像,能够准确识别出破损、崩边、异物、划伤、裂纹等多种缺陷,实现不同型号的裸芯片检测。

1. 功能特点

超高清远心系统,分辨率达1.5μm

组合光源,增强不同类型的缺陷

 XYZ三轴高精度运动控制

自动对焦,实现不同厚度芯片的高清检测

AI机器学习算法,多种缺陷一次检出,增强检出

组合键盘区域自动分割,减少误报

自动芯片定位与检测路径规划,实现全自动一键检测

全流程质量追溯

2. 适应范围

为小批量极多型号芯片入库检测开发的专属产品。

3.产品规格

检测能力

检测对象芯片裸片、LGA、PGA
覆盖缺陷类型破损、崩边、异物、划伤、裂纹、氧化等
支持料盒尺寸*大100 mm × 100 mm

光学系统

主相机2500万高速彩色工业相机
视觉范围FOV6.4 mm × 6.4 mm
分辨率1.5 um
副相机500万大视野相机
照明系统组合光源
检测速度0.5s / FOV

机械性能

XY重复定位精度5 um
XY移动范围100 mm × 100 mm
Z重复定位精度5 um
Z移动范围80 mm

其他规格

外观尺寸707mm × 520mm × 754mm
重 量110 kg
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