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常耀 全自动无尘无氧烘箱\AQMOL-12A-4-25
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中国
主营产品:
全自动无尘无氧烤箱 高温无尘无氧化烘箱 、压力 / 真空烘箱 、高真空 精密热风烘箱 、无尘无氧化烘箱 、无氧化烘箱 、老化测试烤箱、全自动炉管 等
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商品详情

技术参数:

内尺寸:W360*D360*H610

外尺寸:W2800*D2680*H2700(仅供参考)

电源:380V·3φ·50HZ

温度范围:RT~250℃

温度均匀度:±1.5%

生产晶圆:100PCS

材质:内部材质: SUS304 

           外部材质SS441#粉体烤漆/SUS304 SS441#

氧含量:≤20ppm以下

氧含量分析仪:实时检测控制氧含量

无尘等级:经日本进口HEPA过滤达Class100#

升温速率:0~5℃ (可调)

降温速率:1~5℃/min(烘烤温度降至80℃可开门)PCW:18℃ 5kg/cm²

对中功能:Pre-Aligner-(自动对中)

Robot:Robot-(自动上下料)

晶圆翘曲:±4mm

S/W:plc base/PC Control

支持:SECS/GEM\AGV/OHT

EFEM:Follow SEMI S300

六点温度检测:六点温度模组、实时显示并检测历史数据拷出备份

安全装置:漏电保护、超温保护、UPS电源装置、马达过载报警、气压异常报警、水压异常报警、氧含量异常报警。

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