Sumec menuSumec menu

苏美达达天下

全球设备交易服务平台

search 搜索
Image
English
Image
+86 25-84532303
Image
T-world@sumec.com.cn
1 / 1
常耀 立式炉管烘箱(单炉)
iconicon
发布需求发布需求
常耀
常耀 icon
查看更多
发布需求发布需求
常耀
常耀 icon
中国
主营产品:
全自动无尘无氧烤箱 高温无尘无氧化烘箱 、压力 / 真空烘箱 、高真空 精密热风烘箱 、无尘无氧化烘箱 、无氧化烘箱 、老化测试烤箱、全自动炉管 等
icon

商品详情

技术参数:

腔体:单炉

适合工艺:PI胶固化,烘烤去湿,退火,烧结等

晶圆尺寸:8”

石英舟:插槽90PCS(10mm间距) 满足75PCS晶圆批次生产

温度范围:常温~750℃

升温速率:0~8℃/min

降温速率:0~5℃/min

氧含量:20ppm以下(氧含量分析仪,实时监测)

无尘等级:0.5μm <10PCS

Robot:Robot-自动上下料

S/W:SECS / GEM AGV / OHT

支持:实时监控Robot / boat

安全装置:漏电保护,安全锁装置,超温保护,UPS电源装置,氧含量异常警报,水压开关警报等。

店铺所有产品
全自动/半自动 UV解键合机\UVB-603S店铺所有产品
全自动/半自动 UV解键合机\UVB-601S店铺所有产品
全自动/半自动 UV解键合机\UVB-602S店铺所有产品
Burn in oven\AMO-7S店铺所有产品
高真空烘箱\ VQMO-2S店铺所有产品
高真空烘箱\VQMO-1S店铺所有产品