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常耀 立式炉管烘箱(单炉)


价格:
面议
品牌名称:
常耀国家地区:
中国型号:
FTMO-2S
发布需求
常耀 

国别: 中国
主营产品: 全自动无尘无氧烤箱
高温无尘无氧化烘箱 、压力 / 真空烘箱 、高真空 精密热风烘箱 、无尘无氧化烘箱 、无氧化烘箱 、老化测试烤箱、全自动炉管 等
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品牌名称:
常耀国家地区:
中国型号:
FTMO-2S
发布需求
常耀 
中国
主营产品:
全自动无尘无氧烤箱
高温无尘无氧化烘箱 、压力 / 真空烘箱 、高真空 精密热风烘箱 、无尘无氧化烘箱 、无氧化烘箱 、老化测试烤箱、全自动炉管 等
商品详情
技术参数:
腔体:单炉
适合工艺:PI胶固化,烘烤去湿,退火,烧结等
晶圆尺寸:8”
石英舟:插槽90PCS(10mm间距) 满足75PCS晶圆批次生产
温度范围:常温~750℃
升温速率:0~8℃/min
降温速率:0~5℃/min
氧含量:20ppm以下(氧含量分析仪,实时监测)
无尘等级:0.5μm <10PCS
Robot:Robot-自动上下料
S/W:SECS / GEM AGV / OHT
支持:实时监控Robot / boat
安全装置:漏电保护,安全锁装置,超温保护,UPS电源装置,氧含量异常警报,水压开关警报等。
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