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莱斯特 C系列苛刻工艺系列干式真空泵
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中国
主营产品:
罗茨干式真空泵,爪式干式真空泵,螺杆干式真空泵
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商品详情

C系列干泵属于爪式系统。此产品系列拥有成本低,为苛刻制程、能力和可靠性树立了标准。这些型号适用于蚀刻,化学气相沉积 (CVD) 以及原子沉积(ALD)等过程,提供8种容量类型: 210 m³/h、500 m³/h 、600 m³/h 、1200 m³/h 、1800 m³/h、3200 m³/h、 4220 m³/h和5200 m³/h,也可划分为与 200-230 V 或与 380-460 V 兼容。

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