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迪森 超纯水热泵加热机组
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主营产品:
迪森高温热力机组系统
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商品详情

广州迪森热能技术股份有限公司自主研发的超纯水加热热泵机组,专为光伏硅片清洗、半导体晶圆制程等电子级超纯水加热场景定制,是替代传统电加热、蒸汽加热的洁净型节能温控解决方案。 设备采用全 316L 不锈钢洁净水路设计,全程无杂质析出、无二次污染,严格匹配电子级超纯水水质标准,避免水质波动影响清洗良率。搭载高精度闭环温控系统,控温精度可达 ±0.5℃,持续稳定输出恒温超纯水,充分保障硅片清洗工艺的温度一致性,适配高端制程的严苛要求。 机组依托热泵逆循环制热原理,仅消耗少量电能即可产出高品质热能,相较传统电阻式电加热节能 60% 以上,可显著降低产线用水加热的能耗成本。产品覆盖 30-2000kW 宽功率区间,支持变频智能调节,可根据产线用水量与温度需求动态适配运行工况,兼顾小批量试验线与大规模量产线的配套需求。 设备采用水电分离安全设计,运行稳定可靠,同时支持定制化集成方案,可无缝对接现有超纯水系统。

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