富临科技成立于1997年,以 ”真空镀膜技术” 为核心,经过二十多年淬练,已经为 LED产业界,
提供了超过 1500台的 蒸镀量产系统(E-Gun/Thermal Evaporator System),成为 LED 产业链,重要的设备提供者。
近年来,富临科技的设备整合技术不断提升,并顺利发展出 连续式溅镀系统(In-Line Sputter),
光学镀膜系统(Optical Coater),枚叶式溅镀系统(Cluster Type In-Line Sputter)等高难度的量产设备,
适用EMI Coating防电磁波镀膜,工具及装饰镀膜 或Touch Panel制造,实为 设备国产化的技术领导者。
此外,针对于 化学气相沈积(CVD)设备之需求,也陆续发展出ALD-CVD等设备,广泛应用于 能源产业(Solar Cell/薄膜电池)。
而蚀刻设备的开发,富临 亦发展出 电浆蚀刻系统(Plasma Etch Clean System),以满足 国内外半导体光电产业的需求。