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MicroSense, LLC，前身为ADE Technologies，由四个主要业务组成-晶圆几何测量系统，精密电容传感器，振动样品磁力计和最先进的磁测量磁光克尔效应(MOKE)工具。MicroSense服务于半导体制造，数据存储，机床，太阳能，汽车和高亮度LED等众多行业。MicroSense通过丰富的业务经验、财务实力、全球支持和技术领先，为客户提供价值和安全性。MicroSense于2019年2月22日被KLA Corporation收购。

开拓高分辨率测量与电容传感器
我们的电容式传感器业务由Robert C. Abbe于1967年成立，最初是ADE公司的一部分。ADE公司以其具有远见卓识和新颖的高分辨率非接触式测量方法而闻名，适用于要求苛刻的尺寸测量应用。随着时间的推移，ADE成长为世界领先的裸半导体晶圆测量工具供应商。用于位置和位移测量的高分辨率电容式传感器(也称为“cap gage”)成为“ADE”和我们的商标名称“MicroSense”的代名词。

MicroSense提供电容传感器和OEM计量模块，基于专利的电容传感技术，对太阳能晶圆，蓝宝石晶圆，硬盘驱动器电机，空气轴承主轴，精密X-Y级，光盘，汽车零部件和机床等精密产品进行非常精确，高带宽的测量。我们的电容位移传感器提供业界最高的分辨率，小于0.05纳米，卓越的稳定性和几乎无限的使用寿命。