珠海恒格微电子装备有限公司是一家专注等离子体工业应用设备研发、生产及销售的高新技术企业,总部位于珠海。
集团产品多元化覆盖于三大领域。
PCB/载板/新能源领域:垂直/水平/RTR等离子蚀刻清洗设备、真空式等离子蚀刻清洗设备、行业首创“PTH在线等离子除胶处理系统”。
传统封装与LED领域:大气等离子设备、微波等离子清洗除胶设备。
半导体领域:碳化硅刻蚀、金属刻蚀、深硅刻蚀、等离子除胶清洗设备、先进封装微波等离子设备。
另外,公司提供高氟、全氟密封圈的国产更替方案,用于各类设备真空腔体的密封。
公司技术和研发实力雄厚,与电子科技大学携手创办“电子薄膜与集成器件国家重点实验室等离子装备与应用技术研究中心”,拥有100+项专利,荣获“国家高新技术企业”、“广东省专精特新企业”等。